Teflon™ Fluorkunststoffe für das Nassätzen

Schutz der Bauteilreinheit bei nasschemischen Verfahren in der Halbleiterherstellung

Kritische Prozesswerkzeuge und Flüssigkeitstransportsysteme verwenden benetzte Bauteile aus Teflon™ Fluorkunststoffen, um Verunreinigungen zu vermeiden. Während der nasschemischen Verarbeitung werden die Halbleiterwafer gereinigt, geätzt und dann wieder gereinigt, um Fotolack und Rückstände zu entfernen, die sich während des Ätzens ansammeln. Die unvergleichliche chemische Beständigkeit der Teflon™ Fluorkunststoffe schützt sowohl die Prozessflüssigkeiten als auch die Waferoberflächen vor Verunreinigungen.

Rohrleitungen und Schläuche

Die Verwendung von hochreinen Teflon™ Perfluoralkoxy(PFA) Typen – PFA HP und HP Plus – verhindert die Verunreinigung von hochreinen und aggressiven Flüssigkeiten in den in Nassätzanlagen eingesetzten Rohrleitungssystemen. Bauteile aus Teflon™ PFA werden entweder geschweißt oder durch Bördeln zusammengefügt. Rohr-in-Rohr-Systeme bieten zusätzlichen Schutz vor Leckagen und Verunreinigungen.

Komponenten für das Flüssigkeitshandling

Ventile und Armaturen aus hochreinen Teflon™ PFA und Polytetrafluorethylen(PTFE) Typen ermöglichen höchste Leistungen bei kritischen Verbindungen beim Handling von Flüssigkeiten für das Nassätzen. Bauteile wie Pumpen, Druckregler und Durchflussmesser verwenden Teflon™ Fluorkunststoffe zum Schutz vor Verunreinigungen.

Bäder und Becken

Für das Nassätzen verwendete Komponenten wie Bäder und Becken aus Teflon™ PFA und PTFE helfen, die Verunreinigung von Prozessflüssigkeiten und Waferoberflächen zu vermeiden. Aus Teflon™ PFA HP hergestellte Bauteile sind zudem bruchfester als solche aus Quarz.

Wafer-Handling

Die für Horden und andere in der Nasschemie verwendete Wafer-Träger eingesetzten Teflon™ PFA HP und HP Plus Typen sorgen für Chemikalienbeständigkeit und hohe Reinheit, um Verunreinigungen zu verhindern, die die Ausbeute beeinträchtigen können.

Tanks und Behälter

Die Verträglichkeit von Teflon™ Fluorkunststoffen mit nahezu allen Chemikalien trägt dazu bei, die Flüssigkeiten vor Verunreinigungen zu schützen. Teflon™ PFA HP und PTFE eignen sich zur Auskleidung oder Herstellung von Tanks und Behältern, in denen ultrareine aggressive flüssige Chemikalien gelagert und daraus entnommen werden. Teflon™ Fluorkunststoffe werden auch zur Auskleidung von Tanks aus Metall und verstärktem Kunststoff verwendet.

Sensoren

Mit hochreinem Teflon™ PFA geschützte kapazitive Sensoren können zur Überwachung der Füllstände aggressivster und reaktivster Chemikalien verwendet werden. Teflon™ Fluorkunststoffe können zur Isolierung elektrischer Bauteile und Verkabelungen eingesetzt werden und schützen diese zusätzlich vor Korrosion und Verunreinigungen.

Filter

Teflon™ PTFE ist unerlässlich für hochreine Filtermembranen, die für die Entfernung von Partikelverunreinigungen aus Prozessflüssigkeiten und -gasen entscheidend sind. Teflon™ PFA HP und HP Plus eignen sich auch für Filtergehäuse und Armaturen.