在半导体湿法加工过程中保护组件纯度
关键的工艺工具和流体输送系统使用以 Teflon™ 氟聚合物树脂制成的防腐蚀组件来防止污染。在湿法加工过程中，将半导体晶圆进行清洗、蚀刻然后再次清洗，以去除蚀刻过程中积累的光刻胶和残留物。Teflon™ 氟聚合物无与伦比的耐化学性保护了工艺流体和晶圆表面免受杂质和污染的影响。
管道
使用 Teflon™ 高纯度全氟烷氧基 (PFA) 树脂 — PFA HP 和 HP Plus，可防止在湿法蚀刻工艺工具内的管道系统中的超纯且具有腐蚀性流体被污染。Teflon™ PFA 组件通过焊接或扩口接头的方式进行连接。双密封结构提供了额外的保护，防止泄漏和污染。
流体处理组件
阀门和配件由高纯度 Teflon™ PFA 和聚四氟乙烯 (PTFE) 树脂制成，确保了在湿法蚀刻流体传输中关键连接具有最高性能。泵、压力调节器和流量计等组件使用 Teflon™ 树脂，以确保不受污染和杂质的影响。
浴槽和水槽
浴槽和水槽等由 Teflon™ PFA 和 PTFE 树脂制成的湿法蚀刻工具组件，有助于防止工艺流体和晶圆表面受到污染。此外，使用 Teflon™ PFA HP 树脂模制的组件也比石英组件具有更好的耐破损性。
晶圆处理
由 Teflon™ PFA HP 和 HP Plus 树脂制成的晶圆篮和其他在湿法加工过程中支撑晶圆的组件，具有耐化学性和高纯度，以防止导致产量受到影响的污染。
储罐和容器
Teflon™ 树脂与几乎所有化学物质相容，因而提高了它们保护流体纯度的能力。Teflon™ PFA HP 和 PTFE 树脂均可用于制造用于储存和输送超纯腐蚀性化学液体的储罐和容器。Teflon™ 树脂还可用于金属内衬和强化塑料储罐。
传感器
由高纯度 Teflon™ PFA 树脂保护的电容式传感器可监测最具刺激性和反应性的化学物质的流体水平。Teflon™ 氟聚合物可用于电气组件和电缆的绝缘，提供防止腐蚀和污染之外的保护。
过滤器
Teflon™ PTFE 树脂是高纯度过滤膜的基本材料，对去除工艺流体和气体中的颗粒污染至关重要。Teflon™ PFA HP 和 HP Plus 树脂还可用于加工并用作过滤器的外壳和配件。
