Cómo proteger la pureza de componentes durante el proceso húmedo de semiconductores
Las herramientas de proceso crítico y los sistemas de suministro de fluidos utilizan componentes húmedos hechos de resinas de fluoropolímero Teflon™ para evitar la contaminación. Durante el proceso húmedo, las obleas de los semiconductores se limpian, graban y luego se limpian nuevamente para retirar la fotoprotección y los residuos que se acumulan durante el proceso de grabado. La incomparable resistencia química de los fluoropolímeros Teflon™ protege tanto los fluidos de proceso como las superficies de las obleas de la exposición a impurezas y contaminación.
Tuberías
El uso de resinas Teflon™ de perfluoroalcoxi (PFA) de alta pureza, PFA HP y HP Plus, previene la contaminación de fluidos ultra puros y agresivos en sistemas de tubería dentro de las herramientas de proceso de grabado húmedo. Los componentes de Teflon™ PFA se unen mediante soldadura o con conexiones tipo antorcha. Las construcciones de contención doble brindan protección contra las fugas y la contaminación.
Componentes de manejo de fluidos
Las válvulas y los accesorios hechos de resinas Teflon™ PFA y politetrafluoroetileno (PTFE) de alta pureza aseguran el mayor rendimiento de las conexiones críticas en la transferencia de fluido de grabado húmedo. Los componentes como bombas, reguladores de presión y medidores de flujo utilizan resinas Teflon™ para garantizar la protección contra la contaminación y las impurezas.
Bañeras y lavabos
Los componentes de herramientas de grabado húmedo, como bañeras y lavabos hechos de resinas Teflon™ PFA y PTFE ayudan a prevenir la contaminación de los fluidos del proceso y las superficies de las obleas. Los componentes moldeados de resina Teflon™ PFA HP también resisten la rotura mejor que los componentes de cuarzo.
Manejo de obleas
Las resinas Teflon™ PFA HP y HP Plus, moldeadas para formar cestas de obleas y otros componentes humectantes que soportan las obleas durante el procesamiento húmedo, imparten resistencia química y alta pureza para prevenir la contaminación que impacta los rendimientos.
Tanques y contenedores
La compatibilidad de las resinas Teflon™ con prácticamente todas las sustancias químicas mejora la capacidad de proteger la pureza del fluido. Las resinas Teflon™ PFA HP y PTFE pueden utilizarse para revestir o formar tanques y contenedores que almacenen y dispensen fluidos químicos agresivos ultra puros. Las resinas Teflon™ también se utilizan para revestir tanques de metal y plástico reforzado.
Sensores
Los sensores capacitivos protegidos por las resinas Teflon™ PFA de alta pureza pueden monitorear los niveles de fluidos de los químicos más agresivos y reactivos. Los fluoropolímeros Teflon™ pueden aislar los componentes eléctricos y el cableado, proporcionando una protección adicional contra la corrosión y la contaminación.
Filtros
La resina Teflon™ PTFE es esencial para las membranas de filtración de alta pureza, que son fundamentales para eliminar la contaminación de partículas de los fluidos y gases del proceso. Las resinas Teflon™ PFA HP y HP Plus también pueden procesarse y usarse como cubiertas y accesorios de filtros.
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Sistemas químicos
Los componentes de distribución química masiva (Bulk chemical distribution, BCD por sus siglas en inglés) utilizan productos Teflon™ para proteger la pureza de los fluidos.
- Planarización
