半導体のウェットプロセスにおける高純度保持
重要なプロセスツールや溶剤供給システムでは、汚染防止のためにTeflon™（テフロン™）ふっ素樹脂製の部品を使用しています。ウェットプロセスでは、半導体ウエハーを洗浄し、エッチングした後、エッチングプロセス中に蓄積したフォトレジストや残留物を除去するために再度洗浄します。耐薬品性に優れたTeflon™（テフロン™）ふっ素樹脂は、プロセス溶剤やウエハー表面を不純物による汚染から守ります。
チューブ類
Teflon™（テフロン™）の高純度PFA樹脂、つまりPFA HPとHP Plusは、ウェットエッチングプロセスツール内のチューブシステムに使用され、超高純度の腐食性溶剤の汚染を防ぎます。Teflon™（テフロン™）PFA製の部品は、溶接またはフレアタイプの継手で結合されます。二重封じ込め構造により、漏れや汚染に対する保護が強化されます。
溶剤処理部品
高純度のTeflon™（テフロン™）PFAおよびPTFE樹脂製のバルブや継手は、ウェットエッチングの溶剤移送の重要な接続部で最高水準の性能を確保します。Teflon™（テフロン™）樹脂を使用したポンプ、圧力調整器、流量計などの部品は、汚染や不純物から守られます。
バス、シンク
Teflon™（テフロン™）PFAおよびPTFE樹脂を使用したバスやシンクなどのウェットエッチングツール部品は、プロセス溶剤やウエハー表面の汚染を防ぎます。また、Teflon™（テフロン™）PFA-HP樹脂で成型された部品は、石英製のものに比べて割れにくくなります。
ウエハーハンドリング
ウェットプロセスでウエハーを支持するウエハーバスケットなど、ウェット部品の成型に使用されるTeflon™（テフロン™）PFA HPおよびHP Plus樹脂は、耐薬品性と高純度を付与して、歩留まりに影響する汚染を防ぎます。
タンク、コンテナ
ほぼすべての化学薬品に適合するTeflon™（テフロン™）樹脂は、溶剤の純度を守る性能に優れています。Teflon™（テフロン™）PFA HPおよびPTFEの樹脂は、超高純度かつ腐食性の化学溶剤を保管して分注するタンクやコンテナのライニングや形成に使用できます。Teflon™（テフロン™）樹脂は、金属製や強化プラスチック製タンクのライニングにも使用されています。
センサー
高純度のTeflon™（テフロン™）PFA樹脂で保護した静電容量センサーは、刺激が非常に強い化学薬品や反応性が非常に高い化学薬品の液面のモニターをすることができます。また、Teflon™（テフロン™）ふっ素樹脂は電気部品やケーブルを絶縁できるため、腐食や汚染からの保護性能に優れています。
フィルター
Teflon™ PTFE樹脂は、プロセス溶剤やガスから粒子状の汚染物質を除去するために欠かせない高純度ろ過膜にとって重要です。Teflon™（テフロン™）PFA HPおよびHP Plus樹脂は、フィルターハウジングやフィルター継手として加工して使用することもできます。
